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离子溅射仪

发布者：系统管理员发布时间：2010-03-24浏览次数：1387

 

仪器型号：SCD 500
生产厂家：瑞士Bal-Tec
购置日期：2008.05
管理人员：陈新芳
 
仪器主要技术参数及配置：
技术参数：最大溅射电流为150mA，最大溅射功率100W，可调溅射时间为0～999，工作距离30～82mm。
配置：金和铂金两种靶材、碳蒸发法兰、镀膜厚度控制器。
仪器主要用途：
可溅射铬、钨、金、铂靶，在SEM/TEM样品表面上可作导电镀膜、在样品表面镀上还可作高真空蒸发碳膜，以作X—射线微观分析（EDX、WDX）等，还可以在铜网上蒸发碳支持膜。
 

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