生产厂家：Thermo Fisher

仪器型号：Verios 460

仪器价格：685.59万元

资产编号：1719861W

购置日期：2016-12-15

放置地点：科技楼测102

仪器管理人：陈新芳、周静韵

仪器参数：着陆电压：20V～30kV

电子束流：0.8pA～100nA，连续可调

分辨率：二次电子像在最佳工作距离下：

15 kV    优于 0.6 nm

1kV      优于 0.7nm

最大视野范围： 1.5mm(分析工作距离WD=4mm)

样品室真空度：优于2.6×10^-6 mbar

能谱仪分析元素范围：B5～U92

能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV

仪器应用：

Verios 460超高分辨率扫描电镜在1keV至30keV能量范围内实现亚纳米分辨率，具有出色的材料衬度，而且它非凡的低电压性能用于表面特征信息的表征及高精度测量，是其他技术无法实现的。

Verios 460卓越的成像能力始于Elstar^TM热场发射SEM镜筒。其中集成单色器（UC+）和电子束减速技术，使Verios 460具有最佳的低电压性能，轻松获得20eV着陆能量高分辨率图像，用于真正表面结构表征；Elstar还具有更高稳定性的恒功率透镜以及高偏转线性度的静电扫描线圈，大大提高了电镜测量精度，能够在高倍率下校准到NIST认证标准；Verios 460配置的镜筒内探测器TLD可以高效接收SE（二次电子）及近光轴上的BSE（背散射电子）的信号，而两个新的镜筒内探测器MD及ICD都具有信号过滤功能，可同时实现惊人的分辨率和精致的材料对比度。

除了一般的微区分析，Verios 460通过亚纳米特征扩展到当今正在开发的新型材料，如催化剂颗粒、纳米管、多孔材料、界面、生物样品以及其它纳米尺度的结构，即使在电子束敏感的材料上，也能提供准确，可重复的测量结果。Verios 460扩展了SEM能力，为基础研究，工艺和材料开发，过程控制和故障分析提供了完整的解决方案。

同时还配备了OCTANE PLUS能谱仪，对样品进行定性和定量分析。定性分析结果常见的有三种表示方法：特征峰谱图、元素线扫描（Line scanning）和元素面分布（Mapping）图。