仪器参数 | 溅射电流:0-150mA,可调; 溅射时间:1-1800s,可调; 工作距离:30-100mm,可调; 最优真空度:≤2x10-6mbar; 配备靶材:铂金靶、金靶、铬靶、碳丝。 |
主要应用 | Leica EM ACE600是一款高真空镀膜仪,仪器配备两个靶材:可选离子溅射镀金属膜,成膜细腻均匀,能满足高分辨场发射扫描电镜需求;亦可选碳丝蒸发镀碳膜,脉冲式碳丝蒸发方式使得碳膜厚度精确可控制,用于X-射线能谱及波普分析,或者TEM铜网镀碳膜。内置石英膜厚检测器,可精确控制镀膜厚度。 |
样品要求 | 1、必须为干样品; 2、样品不能有磁性(含铁、钴、镍元素的样品需提前用磁铁检测无磁性才能送样); 3、样品大小:块状样品体积不超过5*5*2mm;薄片样品不超过5*5mm;悬浮液样品需滴在大小为5*5mm的锡纸上,待完全干燥之后再送样。 |
仪器说明 | 1、送样时,需按要求自行把样品装到样品台上; 2、预约送样的时间相比电镜观察时间至少提前2个工作日; 3、常规镀膜厚度为10nm,如有特殊要求,请与工作人员沟通。 |
收费标准 | 校内送样:首样100元,此基础上10元/样 自主上机:暂无该服务 |
校外送样:首样200元,此基础上20元/样 |

