仪器参数

出厂分辨率：0.6nm@2~15KV、0.7nm@1KV；             

加速电压：200V~30KV,样品台偏压0~4KV,着陆电压最低20V；

电子束流：0.8pA~100nA；

最大水平视野宽度：在4mm分析工作距离下为 2.3mm；

搭配EDAX能谱：场效应管(FET)内置的高速 SDD芯片，

晶体有效检测面积30mm2；

能量分辨率(Mn-Ka)：优于129eV(STD)；

分析元素范围：B5～U92；

最大输出计数率>850,000CPS。

主要应用

Verios 460超高分辨率扫描电镜在1keV至30keV能量范围内实现亚纳米分辨率，具有出色的材料衬度及低电压性能，即使在电子束敏感的材料上，它也能提供真实的表面特征信息及高精度测量结果，广泛应用于催化剂颗粒、纳米管、多孔材料、界面、生物样品以及其它纳米尺度的结构观察。为基础研究，工艺和材料开发，过程控制和故障分析提供可视化的参考信息。

样品要求

1、必须为干样品；

2、样品不能有磁性（含铁、钴、镍元素的样品需提前用磁铁检测无磁性才能送样）；

3、样品大小：块状样品体积不超过5*5*2mm；薄片样品不超过5*5mm；悬浮液样品需滴在大小为5*5mm的锡纸上，待完全干燥之后再送样；4、非导电样品要先进行镀膜处理，特殊情况须提前咨询仪器负责人。

仪器说明

建议用于观察目标尺寸在1μm以下的样品

收费标准

校内送样：暂无该服务   自主上机：模式一250元/时；模式二380元/时

校外送样：模式一500元/时；模式二760元/时